偷窃技术?不,这是弯道超车! 056 三款高科技展品,全部来自龙芯..(2/2)
题。
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能量越大,绘制芯片电路图的时候,曝光时间就越短。
这样的话,
不仅能够提升生产效率,
更为关键的是,
期间出现问题的几率也就越小。
而电子束光源,
说白了就是高速运动的电子束,产生的能量可想而知!
比起极紫外光,
能量至少提高十倍!
最后再说曝光能量均匀分布的问题。
这就和光源平行度有很大的关系了。
极紫外光平行度可以达到90%,
这个数据已经非常恐怖了!
可与电子束光源相比,
双方就完全不是一个等级了。
因为电子束光源平行度能够达到100%,每个电子的运行方向和速度完全一致,
可以说是最完美的平行光。
绘制芯片电路图的时候,光线完全均匀照射,曝光能量自然也是相当均匀的。
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第三更。
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来源:feilu